TA181901017 Awacles

Awacles : Automatic Wafer Cleaning System

Awacles merupakan produk alat pencucian wafer semikonduktor (substrat pembuatan IC/Chip) yang melakukan pencucian dengan lima jenis larutan kimia (SPM, Acetone, APM, DHF, HPM) secara otomatis. Awacles bekerja dengan memutar wafer pada kecepatan hingga 3000rpm diatas vacuum chuck yang kemudian disemprot oleh larutan pencucian secara bergantian. Pada akhir pencucian awacles akan melakukan pengeringan wafer dengan penyemprotan gas nitrogen.